1． 采用了洁净化处理技术，阀门、接头和管道采用超纯材料。
2． 工作腔、旋转支架等采用316不锈钢，并且表面电化学抛光处理。
3． 工作腔加热和氮气温度控制。
4． 控制软件具有故障实时显示和报警功能。
5． 采用PLC和触摸屏控制，整个过程智能化。
6． 伺服电机驱动。
7． 具有工艺菜单功能。