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  • 6工位3-8寸半导体硅片晶圆旋转冲洗甩干机
6工位3-8寸半导(dao)体硅(gui)片晶圆(yuan)旋转冲洗甩干机(ji)

产品介绍:

硅片(pian)旋转冲洗(xi)(xi)甩(shuai)干机(ji)用于(yu)清洗(xi)(xi)甩(shuai)干太(tai)阳能硅片(pian)和(he)半导体(ti)硅片(pian),是湿法清洗(xi)(xi)工(gong)艺的主要(yao)设备,目前主要(yao)机(ji)型(xing)有四工(gong)位,六工(gong)位和(he)八工(gong)位系列。主要(yao)工(gong)作过程为:喷淋旋转冲洗(xi)(xi)+离心甩(shuai)干+氮(dan)气加(jia)热烘干。

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产品简介 / Introduction

技术参数

型号 model 半导体行业 Semiconductor
SG09 SG13
工作腔数量 4 4
硅片规格   mm 2.5", 3", 4", 5", 6",8"156 12"
旋转速度   r/min 0-1000 0-600
氮气压力 0.3
去离子水压力 0.3
电阻率监控 可选 optional
氮气密封 Nitrogen seal 有 Yes
空/氮气烘干 有 Yes
氮气加热方式 热传导 Heat exchange
氮气加热温度 30-120℃ PID控温 30-120℃ PID control
辅助加热系统 有 Yes
腔体电化学抛光 可选 optional
电机驱动 变频调速 Speed regulating by frequency conversion
控制系统 PLC可编程控制器 PLC
控制显示器 液晶触摸屏 LCD touch screen
外型尺寸(长x宽x高)mm 1040x1095x894 1636X1552X1007 1250x1296x970 1376x1296x1007
电源功率   kw 5 6 6 6
电压 / 频率 AC380V 50HZ (三相四线)  / AC380V 50HZ (3-phase)

结构特点

1. 整个甩干过程一般只需5-6分钟;
2. 设备的外露面为进口PP板,外形美观,耐酸气腐蚀;
3. 工作腔、旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢,并且表面电化学抛光处理;
4. 旋转机构经过精密动平衡处理,保证工作时的平衡性;
5. 采用特种减振器,精密减振和阻尼,保证系统的稳定;
6. 采用了洁净化处理技术,阀门、接头和管道采用不锈钢、PFA高纯管件和聚四氟;
7. 采用油压缸自动开门关门, 平稳安全可靠;
8. 采用油浴炉或气体加热器加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控,并显示在液晶屏上,并有双重安全保护;
9. 特制喷头和气液流体控制系统, 全自动切换;
10. 顶盖采用电加热板辅助加热,保证顶盖烘干后不滴水;
11. 工作腔(qiang)采(cai)用(yong)防(fang)静电控制。

电气控制

1. 采用PLC可编程控制器和触摸屏控制,整个过程智能化;
2. 程序设计可靠, 速度调节、温度调节和时间调节等都可以在触摸屏上设定、修改和保存;
3. 采用变频技术控制转速,加减速平稳,清洗和甩干速度按工艺要求设定,并实时显示在液晶屏上;
4. 采用电子制动,制动时间控制在15秒之内;
5. 控制软件具有故障实时显示和报警功能;
6. 采用了工作过程状态监控,门位置状态监控与互锁,氮气加热温度实时监控,紧急停止按钮等安全措施。

产品展示

甩干机1

全自动硅片旋转冲洗甩干机

甩干机3

公司优势

领军品牌 实力保障

品牌实力品牌 多重保障

15年(nian)行(xing)业经验(yan),专注研发生产半导体/太阳能光伏清洗设备

国(guo)家(jia)高新(xin)技术(shu)产品,率先(xian)通过(guo)ISO9001质量体系认(ren)证

下(xia)设2个分厂:新余市优发官网首页 科(ke)技有限公(gong)司、无锡凌晶硅(gui)科(ke)技有限公(gong)司

 销(xiao)售(shou)及服(fu)务网(wang)络遍布全国,为您提供优越技术培训·售(shou)后服(fu)务

专业研发 非标定制

定制研发设计 非标定制

由硕士高级工程师等(deng)组成(cheng)的研发团队,技术过(guo)硬,实力雄厚

建立国(guo)内硅片(pian)切割加工设备生(sheng)产实验(yan)线

2007年“硅(gui)片(pian)旋转冲洗甩(shuai)干机”评为(wei)国家高新技(ji)术产品

荣(rong)获(huo)多项硅片加工设备(bei)专利,研发定制技术时(shi)刻保持行业(ye)前沿 

非标定(ding)制(zhi),可根据客户需求进行量身定(ding)制(zhi)清洗(xi)解决方(fang)案

匠心工艺 国际品质

品质匠心工艺 国际品质

拥有(you)超8000㎡专业化(hua)规模生产(chan)基地(di),设备齐全 

 严(yan)格按照(zhao)ISO9001:2000标(biao)准质(zhi)量管(guan)理体系进行设计·生产·服务

设备产品性(xing)能(neng)稳(wen)定(ding),使用寿命长,质(zhi)量可靠

 自(zi)主研发,自(zi)有工厂,厂家直销,性(xing)价比高

免费定制 贴心售后

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