
051081000181
主要用于(yu)硅晶圆等类似材料的(de)冲洗甩干(gan),用于(yu)半(ban)导(dao)体清(qing)洗机(ji)内的(de)甩干(gan)工位,甩干(gan)结束后,片盒(he)顶升(sheng),清(qing)洗机(ji)机(ji)械手拿取片盒(he)到下(xia)一道工位。
| 项目 | 参数 |
| 加工硅片尺寸 | 8寸圆片mm |
| 单次甩干硅片数量 | 25片 |
| 工作腔数量(个) | 2 |
| 旋转内筒直径mm | 720 |
| 碎片率 |
≤0.03% |
| 旋转速度 r/min | 0-900 |
| 甩干时间 | 8min |
| 顶盖进气 | 高效过滤器 |
| 氮气压力 | 2-3 bar,氮气管借口3/8" |
| 氮气耗量L/min | 30 |
| 压缩空气压力 | 4-5 bar,管(guan)接口8mm |
| 排水管 | 1.5寸 PPH 管 |
| 抽风管 | 150mm圆管 |
| 控制系统 | PLC可编程控制 |
| 显示 | 接清洗机触摸屏 |
| 电源 | AC380C |
| 整机功率 | 6KW |
| 外型尺寸(深*宽*高)mm | 950x1080x1083 |
实力品牌 多重保障
15年行业经验,专注研(yan)发生产半导体/太阳能光伏清洗(xi)设备
国家高(gao)新技术产(chan)品(pin),率先通过ISO9001质量体系(xi)认证(zheng)
下设(she)2个分厂:新余市优发官网首页 科(ke)技有限公司(si)、无锡(xi)凌晶硅科(ke)技有限公司(si)
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研发设计 非标定制
由硕士高级工程师等组成的研发(fa)团队,技术过硬,实力雄厚
建立国内硅片切割加工设备生产实验线
2007年“硅片旋(xuan)转冲洗甩干机(ji)”评为(wei)国(guo)家高(gao)新技术产品
荣获多(duo)项(xiang)硅片(pian)加工设备专利(li),研发定制技(ji)术时(shi)刻保(bao)持行业前沿
非标定制,可根据客户需(xu)求进行(xing)量身(shen)定制清洗(xi)解决方案
匠心工艺 国际品质
拥有(you)超8000㎡专业化规模生产(chan)基地,设(she)备(bei)齐全
严格按照ISO9001:2000标准(zhun)质量管理体系(xi)进行设计(ji)·生产·服务(wu)
设备产品性能稳(wen)定,使用寿(shou)命长,质量可靠(kao)
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