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  • 半导体8寸甩干机
半导体(ti)8寸甩干机
主要用于硅晶圆等类似材料的冲洗甩干,用于半导体清洗机内的甩干工位,甩干结束后,片盒顶升,清洗机机械手拿取片盒到下一道工位。
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产品简介 / Introduction

主要用于(yu)硅晶圆等类似材料的(de)冲洗甩干(gan),用于(yu)半(ban)导(dao)体清(qing)洗机(ji)内的(de)甩干(gan)工位,甩干(gan)结束后,片盒(he)顶升(sheng),清(qing)洗机(ji)机(ji)械手拿取片盒(he)到下(xia)一道工位。

项目 参数
加工硅片尺寸 8寸圆片mm
单次甩干硅片数量 25片
工作腔数量(个) 2
旋转内筒直径mm 720
碎片率 ≤0.03%
旋转速度  r/min 0-900
甩干时间 8min
顶盖进气 高效过滤器
氮气压力 2-3 bar,氮气管借口3/8"
氮气耗量L/min 30
压缩空气压力 4-5 bar,管(guan)接口8mm
排水管 1.5寸 PPH 管
抽风管 150mm圆管
控制系统 PLC可编程控制
显示 接清洗机触摸屏
电源 AC380C
整机功率 6KW
外型尺寸(深*宽*高)mm 950x1080x1083




公司优势

领军品牌 实力保障

品牌实力品牌 多重保障

 15年行业经验,专注研(yan)发生产半导体/太阳能光伏清洗(xi)设备 

国家高(gao)新技术产(chan)品(pin),率先通过ISO9001质量体系(xi)认证(zheng)

下设(she)2个分厂:新余市优发官网首页 科(ke)技有限公司(si)、无锡(xi)凌晶硅科(ke)技有限公司(si)

销售(shou)及服(fu)(fu)务(wu)网络遍布全国,为您(nin)提供优越(yue)技术(shu)培训·售(shou)后服(fu)(fu)务(wu)

专业研发 非标定制

定制研发设计 非标定制

由硕士高级工程师等组成的研发(fa)团队,技术过硬,实力雄厚

建立国内硅片切割加工设备生产实验线

2007年“硅片旋(xuan)转冲洗甩干机(ji)”评为(wei)国(guo)家高(gao)新技术产品 

荣获多(duo)项(xiang)硅片(pian)加工设备专利(li),研发定制技(ji)术时(shi)刻保(bao)持行业前沿 

非标定制,可根据客户需(xu)求进行(xing)量身(shen)定制清洗(xi)解决方案 

匠心工艺 国际品质

品质匠心工艺 国际品质

拥有(you)超8000㎡专业化规模生产(chan)基地,设(she)备(bei)齐全

严格按照ISO9001:2000标准(zhun)质量管理体系(xi)进行设计(ji)·生产·服务(wu) 

设备产品性能稳(wen)定,使用寿(shou)命长,质量可靠(kao)

自主(zhu)研(yan)发,自有(you)工(gong)厂,厂家直销,性价比(bi)高  

免费定制 贴心售后

服务免费定制 贴心售后

根据客户(hu)需求免费(fei)设计图纸/定制解(jie)决方案

优发官网首页  全线产(chan)品享受免费上(shang)门(men)安装调试(shi)

每款产(chan)品(pin)配(pei)套有调试操(cao)作视频,手把手教您操(cao)作使用(yong)

 7*24小时快速响应,客服团队(dui)随时待命,确保设备正常运行

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