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  • 8工位3-8寸半导体硅片晶圆旋转冲洗甩干机
8工位3-8寸半(ban)导体(ti)硅片晶圆旋(xuan)转冲洗(xi)甩干机

产品介绍:

硅片旋(xuan)转冲洗(xi)甩干机用于清洗(xi)甩干太阳能硅片和半导体(ti)硅片,是湿(shi)法清洗(xi)工艺的主(zhu)要(yao)设(she)备,目前主(zhu)要(yao)机型有四工位,六工位和八(ba)工位系列。主(zhu)要(yao)工作过程为:喷(pen)淋(lin)旋(xuan)转冲洗(xi)+离心甩干+氮气(qi)加热烘(hong)干。

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产(chan)品简介 / Introduction

技术参数

型号 model 太阳能行业 Solar
SG11 SG12
工作腔数量 8 8
硅片规格   mm 2.5", 3", 4", 5", 6",8"156 25片盒(he) 2.5", 3", 4", 5" , 6",8"156 50片(pian)盒
旋转速度   r/min 0-900 0-900
氮气压力 0.3
去离子水压力 0.3
电阻率监控 可选 optional
氮气密封 Nitrogen seal 有 Yes
空/氮气烘干 有 Yes
氮气加热方式 热传导 Heat exchange
氮气加热温度 30-120℃ PID控温 30-120℃ PID control
辅助加热系统 有 Yes
腔体电化学抛光 可选 optional
电机驱动 变频调速 Speed regulating by frequency conversion
控制系统 PLC可编程控制器 PLC
控制显示器 液晶触摸屏 LCD touch screen
外型尺寸(长x宽x高)mm 1040x1095x894 1636X1552X1007 1250x1296x970 1376x1296x1007
电源功率   kw 5 6 6 6
电压 / 频率 AC380V 50HZ (三相四线)  / AC380V 50HZ (3-phase)

结构特点

1. 整个甩干过程一般只需5-6分钟;
2. 设备的外露面为进口PP板,外形美观,耐酸气腐蚀;
3. 工作腔、旋转支架和装片盒等主要部件采用耐腐蚀不锈钢,并且表面电化学抛光处理;
4. 旋转机构经过精密动平衡处理,保证工作时的平衡性;
5. 采用特种减振器,精密减振和阻尼,保证系统的稳定;
6. 采用了洁净化处理技术,阀门、接头和管道采用不锈钢、PFA高纯管件和聚四氟;
7. 采用油压缸自动开门关门, 平稳安全可靠;
8. 采用油浴炉或气体加热器加热氮气,热量足,温度稳定,加热温度实时监控,并显示在液晶屏上,并有双重安全保护;
9. 特制喷头和气液流体控制系统, 全自动切换;
10. 顶盖采用电加热板辅助加热,保证顶盖烘干后不滴水;
11. 工作腔采(cai)用防(fang)静电控制。

电气控制

1. 采用PLC可编程控制器和触摸屏控制,整个过程智能化;
2. 程序设计可靠, 速度调节、温度调节和时间调节等都可以在触摸屏上设定、修改和保存;
3. 采用变频技术控制转速,加减速平稳,清洗和甩干速度按工艺要求设定,并实时显示在液晶屏上;
4. 采用电子制动,制动时间控制在15秒之内;
5. 控制软件具有故障实时显示和报警功能;
6. 采用了工作过程状态监控,门位置状态监控与互锁,氮气加热温度实时监控,紧急停止按钮等安全措施。

产品展示

甩干机1

全自动硅片旋转冲洗甩干机

甩干机3

公司优势

领军品牌 实力保障

品牌实力品牌 多重保障

15年行业(ye)经验(yan),专注研发生产半(ban)导体/太阳能光(guang)伏清洗设备(bei)

国家(jia)高(gao)新技术产品(pin),率先(xian)通过(guo)ISO9001质量(liang)体系认证

下设2个分厂:新余市(shi)优发官网首页 科技有限公(gong)司(si)、无锡凌晶硅科技有限公(gong)司(si)

销售(shou)及服(fu)务(wu)网络遍布全国,为您提供优越技术培训(xun)·售(shou)后服(fu)务(wu)

专业研发 非标定制

定制研发设计 非标定制

由硕士高(gao)级工程师等(deng)组成的研发团队,技术(shu)过硬,实力雄厚(hou) 

建立国内(nei)硅片(pian)切(qie)割加工设备生产实验线

2007年“硅片旋转冲(chong)洗甩(shuai)干(gan)机”评为国家高(gao)新(xin)技术(shu)产品

荣获多项硅片(pian)加工设(she)备专(zhuan)利,研(yan)发定(ding)制技术时刻(ke)保(bao)持(chi)行业(ye)前沿

 非标(biao)定(ding)制(zhi)(zhi),可根据客(ke)户(hu)需求进行量身定(ding)制(zhi)(zhi)清洗解决方(fang)案

匠心工艺 国际品质

品质匠心工艺 国际品质

拥有(you)超8000㎡专(zhuan)业化规模生产(chan)基地,设备齐(qi)全

 严(yan)格按照ISO9001:2000标准质量(liang)管理体系进行设计·生产·服务

设备产品(pin)性能稳(wen)定,使用寿命长,质(zhi)量可靠

 自主研发(fa),自有工(gong)厂(chang),厂(chang)家直销(xiao),性价比(bi)高 

免费定制 贴心售后

服务免费定制 贴心售后

根据客户需求(qiu)免费设计图纸(zhi)/定制解决方案 

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